三坐標測量機的維護需要全方位的維護。作為三坐標測量機的關鍵部件，光柵尺也是一個非常精密的部件。維護是否合理直接影響三坐標測量機的精度和光柵尺的壽命。三坐標測量機光柵尺的具體維護和清潔方法請參考業內人士的建議。

1、光柵尺傳感器與數顯插座插拔時應關閉電源。

2、盡可能加裝防護罩，及時清理飛濺在尺子上的切屑和油污，嚴防異物進入機殼內部。

3、定期檢查各連接螺釘是否松動。

4、為延長防塵密封條的使用壽命，可在密封條上均勻涂上一層薄薄的硅油，注意不要濺到玻璃光柵的劃線面上。

5、為保證光柵傳感器的可靠性，光柵表面和指示光柵表面可以定期用乙醇混合物（各50%）清洗，以保持玻璃光柵表面清潔。

6、嚴禁劇烈振動、敲打光柵尺傳感器，以免損壞光柵尺，如光柵尺折斷，光柵尺傳感器會失效。

7、不要自行拆卸光柵尺傳感器，也不要隨意改變主光柵和副光柵的相對距離，否則一方面可能會損壞光柵尺傳感器的精度，而且在另一方面，可能會引起主光柵尺與副光柵尺之間的相對摩擦。鍍鉻層的損壞也會破壞網格線，從而導致光柵尺報廢。

8、應注意防止光柵尺表面被油水污染，以免損壞光柵尺的線條紋分布，造成測量誤差。

9、光柵傳感器應盡量避免在腐蝕嚴重的環境中工作，以免腐蝕光柵的鉻層和光柵表面，損壞光柵質量。

清潔三坐標測量機光柵尺，可用脫脂棉球蘸無水酒精，將棉球從光柵的一端擦到另一端，然后更換棉球，再用一個干凈的棉球。棉球不能重復使用。 ，注意不要來回擦拭。擦拭過程中不要觸碰讀數頭，也不要讓棉球的纖維粘在光柵上。讀數頭的靜電會吸引纖維，影響讀數。三坐標測量機的光柵尺不宜頻繁擦拭，每季度或半年擦拭一次即可。